Diamond like carbon (DLC) coating equipment 類金剛石DLC涂層設(shè)備
該系列設(shè)備具備多種DLC涂層沉積技術(shù)，模塊化的涂層設(shè)備設(shè)計(jì)，可根據(jù)客產(chǎn)品應(yīng)用需求，單獨(dú)或組合過濾陰極電弧，閉合場磁控濺射，PACVD和離子源技術(shù)模塊于DLC沉積設(shè)備，適用于多種科學(xué)研究，產(chǎn)品開發(fā)和批量生產(chǎn)的要求。技術(shù)先進(jìn)，操作方便，能量消耗少，綠色環(huán)保等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械，電子，光學(xué)，能源，裝飾等領(lǐng)域。
HCVAC開發(fā)的DLC涂層，具有良好的附著性，高的硬度和耐磨性，低的摩擦系數(shù)，低的表面粗糙度，能在多種金屬與合金工模具或零件表面沉積DLC涂層。獨(dú)特的低溫涂層技術(shù)，還能適用于在塑膠等不耐高溫的材料上沉積DLC涂層。
DLC涂層具有較高的硬度、優(yōu)異的減摩耐磨性能、高熱導(dǎo)率、低介 電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學(xué)透過性以及優(yōu)異的化學(xué)惰性和生物兼容性等，在航空航天、機(jī)械、電子、光學(xué)、裝飾外觀保護(hù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。DLC涂層適合于磨損和滑動(dòng)的環(huán)境下，在沒有任何潤滑介質(zhì)的條件下，可以降低摩擦損耗，可以用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)零部件（燃油噴射系統(tǒng)、動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)）、軸承、滾輪、紡織機(jī)械、航空航天等眾多領(lǐng)域。
DLC涂層設(shè)備制備的DLC涂層（類金剛石涂層），具備質(zhì)量穩(wěn)定，與基體結(jié)合力好，耐磨性好，摩擦系數(shù)低，耐腐蝕性好等綜合優(yōu)良性能。廣泛應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)零部件，有色金屬切削刀具，有色金屬及不銹鋼等成型沖壓模具，滑動(dòng)密封部件，半導(dǎo)體行業(yè)模具，注塑模具，紡織行業(yè)等。
針對(duì)不同的行業(yè)，并根據(jù)客戶不同的要求及材料，我們運(yùn)用不同的工藝及制備方法，設(shè)計(jì)出相適應(yīng)的DLC涂層設(shè)備，以滿足客戶的需要。
DLC涂層特點(diǎn)：
1、是一個(gè)很好的自潤滑塑料加工應(yīng)用涂層；
2、涂層特別致密，不起化學(xué)作用，沉積膜是1～3μm，硬度是2000HV～2500HV；
3、具有優(yōu)異的摩擦磨損性能，耐高溫350℃，并具有很高的耐粘接劑和磨粒磨損；
4、快速、可預(yù)見的脫模大大提高質(zhì)量和生產(chǎn)率，是PECVD涂層塑料加工的首選。
| 主要模塊 | |
| Arc | HiPIMS |
|
創(chuàng)新的APA蒸發(fā)器技術(shù)（先進(jìn)的等離子輔助）基于陰極真空電弧，為新的層結(jié)構(gòu)提供了多種開發(fā)可能性。 優(yōu)勢： ●靶材使用率高，降低靶材成本 ●沉積率高 ●磁場可調(diào)節(jié) ●靶材更換時(shí)間短 ●等離子體密度高 ●完美的涂層結(jié)合力 |
HiPIMS代表高功率脈沖磁控濺射。 優(yōu)勢： ●離化率高（類似于電弧法） ●高功率密度，從 100 到1000 W/cm2 ●等離子密度非常高 ●可以通過等離子參數(shù)設(shè)置來調(diào)節(jié)層結(jié)構(gòu) ●涂層非常光滑 ●完美的涂層結(jié)合力 ●在低基材溫度下沉積致密的涂層 |
| 其他模塊 | |
| 濺射 | 氮化 |
|
在濺射工藝中，通過高能離子（Ar）轟擊靶材，分離成原子進(jìn)而轉(zhuǎn)化成氣相。通過結(jié)合濺射材料和其他氣體，將涂層沉積在基材上。 優(yōu)勢： ●可以濺射多種材料 ●多種工藝變量可用 ●光滑的涂層 ●結(jié)合功率刻蝕工藝AEGD獲得好的涂層結(jié)合力 |
使用氮化模塊，可在同一個(gè)系統(tǒng)、同一個(gè)批次，在PVD和/或PACVD涂層工藝之前進(jìn)行等離子氮化工藝。由此生成一個(gè)硬化層，為后續(xù)的PVD/PACVD涂層提供完美的支撐。 優(yōu)勢： ●優(yōu)化工具和零部件屬性 ●替代昂貴的基材 ●顯著延長壽命 ●可以應(yīng)用所有PVD涂層 |
| DLC | ta-C |
|
DLC就是類金剛石涂層，指一系列具有超低摩擦系數(shù)的非晶碳涂層。使用DLC模塊，可以通過使用PVD和/或PACVD工藝來生成不同的DLC涂層。標(biāo)準(zhǔn)DLC涂層包括不含金屬或含金屬的碳基涂層。 優(yōu)勢： ●完美的涂層結(jié)合力 ●高耐磨性 ●低摩擦系數(shù) ●光滑的涂層 |
ta-C 就是不含氫的四面體非晶碳，指的是一組極硬、低摩擦的非晶碳涂層。使用ta-C模塊可以生產(chǎn)不同的ta-C涂層。 優(yōu)勢： ●適用于比DLC更高的溫度環(huán)境 ●非常高的耐磨性 ●完美的涂層結(jié)合力 ●光滑的涂層 |
