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功能涂層設備應用

Equipment application
ta-c涂層

        HCVAC開發出具有自主知識產權的， 適用于制備ta-c涂層電弧陰極模塊，該設備可以沉積硬度超過40Gpa的超硬ta-c涂層，可在HCSH系列標準設備上沉積ta-c涂層

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